[2023 Open Access]
Novel liquid cobalt precursor for metal atomic layer deposition
2023 Jpn. J. Appl. Phys. 62 SH8002

iopscience.iop.org/article/10.3...

#JJAP
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10月8日(水)-10日(金)に、応用物理学会シリコンテクノロジー分科会が #ADMETA Advanced Metallization Conference 2025 を開催。10月8日はチュートリアル、9日-10日が本会議。東京都文京区・東京大学武田ホールおよびオンラインにて。詳細は bit.ly/3R634es に。
#Conference #Metallization

Collaborator Kristian A. Reck et al. in Nano Trends: “Direct #metallization of #polymers: The #HiPIMS effect on early thin #film growth”:

Nano Trends 11, 100136 (2025)

doi.org/10.1016/j.nw...