Attending the WALP workshop on #ALDep & #ALEtch- very interesting & cozy event, my talk on #ALDconformality soon. warwick.ac.uk/fac/sci/chem...
Student approached to thank for the #JAP2005 #TMAwater review, which has helped him into ALD field. This happens occasionally & always makes my day!
Screen capture of the publisher's front page related to the mentioned review article
This #JAP2005 is "part of the #ALDep review series" posted before, cited >2000 times. doi.org/10.1063/1.19... 🧪
Here e.g. #VPHA #ALDep history work foundations were laid and those of #AtomicLimits #ALDdatabase periodic table; #TMAwater surface chemistry studies mapped; term GPC justified, & more.
Kahdeksan vuotta #JAP2005 review-artikkelin julkaisemisesta, vuonna 2013, aloimme Virtual Project on the History of ALD (#VPHA) -projektin, johon kaikki halukkaat kaikkialta maailmasta olivat tervetulleita. Koordinoin sitä (harrastuksena) monta vuotta, aluksi aktiivisesti, nyttemmin vähemmän.
Olen viimeiset 20 vuotta käyttänyt paljon aikaa ja energiaa ALD:n historia-asioiden valottamiseen.
Postdocina selvittämäni asiat löytyy #JAP2005 katsausartikkelistani (johon >2000 viittausta). doi.org/10.1063/1.19..., kuvakaappaus Table 1, "Some Soviet-Russian ALD investigations".